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VFZ401A-4Z环形风机在半导体设备中有哪些用途
VFZ401A-4Z环形风机在半导体设备中有哪些用途VFZ401A-4Z环形风机在半导体设备中,主要用途集中在工艺配套、制程保障等环节,具体如下:‌1、晶圆清洗与干燥‌在半导体湿法清洗工序中,可通过输出高压洁净气流,快速吹干晶圆表面残留的去离子水,避免水渍残留影响后续光刻、刻蚀工艺的良率,适配晶圆级精密干燥需求。2、‌制程废气与粉尘抽吸‌可作为局部负压源,抽取半导体刻蚀、沉积工序产生的微量有害工艺废气,或是吸附制程中产生的微颗粒粉尘,维持工艺腔体内的洁净度,避免污染物损伤晶圆...
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