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2026-6-18

2QB530-SAA11漩涡风机在半导体设备中的作用2QB530-SAA11属于梁瑾2QB系列高压漩涡风机（单相220V，铸铝材质，无油运转），在半导体设备中主要承担以下六大主要功能：1.真空吸附与晶圆固定（关键作用）半导体制造对真空环境要求极严苛。该风机通过真空吸盘产生稳定负压，无接触固定晶圆，避免机械夹持带来的颗粒污染或表面损伤。晶圆搬运、定位、对准环节替代机械臂夹持，减少颗粒污染风险适用于激光雕刻、光刻机等精密加工场景2.工艺腔体抽真空配合干式涡旋真空泵，抽除工艺腔体内...

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